半导体芯片厂房大跨度屋盖结构施工技术分析 
王立喜
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摘要:
12英寸Fab厂房是面向高端半导体制造的专业化生产载体,具有结构集成度高、钢结构用量大且跨 度大等特点,因此对厂房钢结构施工精度和变形控制提出了严格要求。本文选取某特色工艺生产线建设 项目(三期)作为研究案例,以12英寸Fab厂房屋盖结构施工为切入点,深入探究Fab厂房大跨度屋盖结 构施工难题,以期为大跨度屋盖结构施工提供
技术参考。
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12英寸Fab厂房是面向高端半导体制造的专业化生产载体,具有结构集成度高、钢结构用量大且跨 度大等特点,因此对厂房钢结构施工精度和变形控制提出了严格要求。本文选取某特色工艺生产线建设 项目(三期)作为研究案例,以12英寸Fab厂房屋盖结构施工为切入点,深入探究Fab厂房大跨度屋盖结 构施工难题,以期为大跨度屋盖结构施工提供
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